概括
我们开发了一种新的方法,用于利用圆形格子和极点坐标感应亚纳米误差. 这种技术在广泛范围内实现了高度精确的二维对齐,提高了光学系统的精度.
科学领域:
- 光学计量学 在光学计量学
- 纳米技术纳米技术
- 精密工程 精密工程是指精密的工程.
背景情况:
- 之前的结构化照明方法通过使用线性网格实现了亚纳米误调传感.
- 限制包括由于图案一致性要求而无法使用圆形格子.
研究的目的:
- 提出一种新的错位传感方法,使用极点坐标中的级联干扰.
- 为了使亚纳米对齐可以使用亚波长圆形格子.
主要方法:
- 在极点坐标中开发一个级联干扰技术.
- 实现与子波长圆形格子用于错位传感.
主要成果:
- 2D错位测量的演示.
- 在50微米范围内达到0.62nm的精度.
结论:
- 拟议的方法克服了线性网格的局限性.
- 提供了一个强大的解决方案,用于广泛,高精度的2D对齐.
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