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Optics express
|January 29, 2025
PubMed
概括

本研究介绍了一种数值方法,用于纠正高面比 (HAR) 样品的连贯扫描干涉测量 (CSI) 中的偏差. 这种新技术可以改善表面地形测量,而不会改变光学系统.