大MEMS用于高导热度测量
Haiyu He1,2, Yuxi Wang1,2, Bai Song1,2,3
1Department of Energy and Resources Engineering, Peking University, Beijing 100871, China.
The Review of scientific instruments
|February 6, 2025
概括
我们开发了一种使用化装置的新型大MEMS方法,用于精确测量高导电性材料的导热率. 这种技术克服了诸如接触电阻等挑战,使得准确的表征成为可能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 固态物理 固态物理
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 高导热性的材料对于热管理至关重要.
- 由于接触电阻和小的温度差异,精确的热量测量具有挑战性.
研究的目的:
- 为了应对测量高导热材料的挑战.
- 为热量测量提出一种新的大MEMS方法.
主要方法:
- 使用悬浮化 (SiNx) 纳米片与集成的电阻加热器/温度计.
- 采用了多探针实验方案,使用超低导热性SiNx悬浮束.
- 将接触热阻冲击降至最低,低于3%.
主要成果:
- 成功测量了金属线 (白金,金,银) 和条 (化,内在) 的导热率.
- 在低温下达到的导热值超过1000W m-1 K-1 .
- 获得的结果与已确定的数据有很好的一致性.
结论:
- 使用SiNx设备的多探头大MEMS方法为高导热材料的特性提供了可靠的方法.
- 这种技术有助于识别和理解具有优越热传输特性的材料.


