MEMS

Haiyu He1,2, Yuxi Wang1,2, Bai Song1,2,3

  • 1Department of Energy and Resources Engineering, Peking University, Beijing 100871, China.

概括

我们开发了一种使用化装置的新型大MEMS方法,用于精确测量高导电性材料的导热率. 这种技术克服了诸如接触电阻等挑战,使得准确的表征成为可能.