在黄金和混合黄金/透电基板上自组装的三聚烯单层

科学领域:

• 表面化学
• 材料科学
• 纳米技术

背景情况:

• 在微电子中,N-异环碳素 (NHC) 用于自组装单层 (SAM).
• 为了提高性能,对NHC结构的修改存在有限的研究.
• 1,2,3-triazolylidenes (Tz) 是一种稳定且易于合成的碳类.

研究的目的:

• 在黄金表面上设计和沉积新型1,2,3-triazolylidene (Tz) 类型的碳素.
• 评估基于Tz的SAM的热稳定性和沉积选择性.
• 研究Tz SAMs作为微电子中的小分子抑制剂 (SMIs) 的潜力.

主要方法:

• 1,2,3-碳酸盐的合成和沉积
• 对前体盐的热性质分析.
• 飞行时间二次离子质谱 (ToF-SIMS) 用于稳定性评估.
• 进行X射线和紫外线光电子光谱 (XPS,UPS) 和接触角度测量以进行表征.
• 在 Au/SiO2 基板上进行选择性沉积研究.

主要成果:

• 与之前报告的NHC SAM相比,Tz SAM具有更高的热稳定性.
• 前体盐适用于溶液和蒸汽阶段的沉积.
• Tz SAM显示金属对介电区域的高沉积选择性.
• Tz SAM有效地阻断了图案基板上的ZnO沉积.

结论:

• 1,2,3-三化碳酸代表了一种具有增强热稳定的SAM形成分子的新类.
• Tz SAM是微电子中选择性沉积的有效小分子抑制剂.
• 结构与属性关系提供了SAM作为阻断剂的性能.