基于SU-8波导的热调里埃变换光谱仪
Qiongchan Shao1, Xiao Ma2, Mingyu Li3
1State Key Laboratory of Extreme Photonics and Instrumentation, Centre for Integrated Optoelectronics, College of Optical Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China.
Polymers
|February 13, 2025
概括
我们使用马赫-泽恩德干扰仪 (MZI) 开发了一种紧的,低成本的芯片上的里叶变换光谱仪 (FTS). 该设备在小尺寸内提供高吞吐量用于光谱分析.
科学领域:
- 光子学 是一个光子学.
- 频谱学是一种光谱学.
- 微型制造业的微型制造
背景情况:
- 芯片上的里叶变换谱仪 (FTS) 为光谱分析提供了小型化和成本效益.
- 传统的光谱仪往往是庞大而昂贵的,限制了它们的广泛应用.
- 集成光子设备对于开发紧型传感技术至关重要.
研究的目的:
- 设计,制造和描述基于芯片上的里埃变换光谱仪 (FTS) 的新型马赫-泽恩德干扰仪 (MZI).
- 为了证明使用SU-8聚合物波导用于集成光谱学的可行性.
- 评估性能指标,包括足迹,光谱带宽和分辨率.
主要方法:
- 使用SU-8聚合物波导技术制造马赫-泽恩德干扰仪 (MZI).
- 集成一个微型加热器来积极调整光路径长度差异.
- 通过使用福里埃转换算法分析干扰信号来对设备进行表征.
- 测量光谱带宽和分辨率.
主要成果:
- 成功制造了一种只有2 × 12mm2的紧型FTS设备.
- 该设备实现了大约100nm的光谱带宽.
- 确定光谱分辨率小于20nm.
- 低功耗 (最大2.2W) 的加热器有效调整了MZI光路径长度差异.
结论:
- 在芯片上开发的MZI FTS代表了用于紧且具有成本效益的光谱分析的有希望的技术.
- SU-8聚合物波导适合制造集成的里埃变换谱仪.
- 该设备的小尺寸和性能指标表明了需要便携式光谱学的各种应用的潜力.
