基于微电子机械系统的虫补丁天线在石英基板上,用于高收益
Haoran Zhao1,2, Qi Wang2, Jianyu Du2
1School of Engineering and Technology, China University of Geosciences (Beijing), Beijing 100083, China.
Sensors (Basel, Switzerland)
|February 13, 2025
概括
本研究介绍了一种使用微电机系统 (MEMS) 技术的新型Ku波段寄生虫补丁天线. 在一个紧的设计中,MEMS天线实现了宽带宽和高收益,最大限度地减少介电损失.
科学领域:
- 电气工程 电气工程
- 天线设计天线设计
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 微电机系统 (MEMS) 技术为射频组件提供小型化和集成能力.
- 寄生补丁天线用于带宽增强和模式控制.
- 介电损失是影响天线性能的一个关键因素,特别是在更高频率时.
研究的目的:
- 介绍一款使用MEMS技术的新型Ku波段寄生虫补丁天线设计.
- 研究特定材料和制造工艺的使用,以尽量减少介电损失.
- 以带宽,增益和大小来描述天线的性能.
主要方法:
- 一个双基板天线结构的制造,其中包括一个主补丁和一个寄生补丁.
- 实施双层悬浮膜工艺,用于寄生虫补丁使用帕利C和Spin-on-glass (SOG).
- 使用SOG对基板进行粘合,以减少介电损失.
主要成果:
- 获得了30%的测量带宽 (11.115.01 GHz).
- 获得的峰值增益为8.57dBi.
- 展示了一个0.87 × 0.87 × 0.09 λ03的紧天线尺寸.
结论:
- 拟议的基于MEMS的Ku波段寄生虫补丁天线提供了显著的性能优势.
- 选择的材料和制造技术有效地将介电损失降到最低.
- 该天线适用于需要高增益和宽带宽的应用,其形状结构紧.


