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Lu Ye1,2, Xiangchao Zhang1, Min Xu1
1Shanghai Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai 200438, China.
一种新型的红外裂纹光源提高了曲面测量精度,达到1μm RMS. 这种具有成本效益的工具可以提高光学车间的表面质量评估.
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