设计和校准用于红外偏光度的光源
Lu Ye1,2, Xiangchao Zhang1, Min Xu1
1Shanghai Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai 200438, China.
Sensors (Basel, Switzerland)
|February 13, 2025
概括
一种新型的红外裂纹光源提高了曲面测量精度,达到1μm RMS. 这种具有成本效益的工具可以提高光学车间的表面质量评估.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 计量学和测量科学 计量学和测量科学
背景情况:
- 红外偏光测量对于测量精密工程曲面表面至关重要.
- 红外偏光仪的性能在很大程度上取决于红外光源的特性和配置.
研究的目的:
- 设计和验证一个稳定,均的红外裂纹光源,用于增强的偏光计.
- 开发用于使用设计光源的红外摄像机的校准方法.
主要方法:
- 使用聚胺加热膜的腔结构被用来创建红外裂光源.
- 在扫描过程中,使用理论石和立方镜进行了对齐,以最大限度地减少扫描期间的位置偏差.
- 该光源也被用作红外摄像头的校准板.
主要成果:
- 设计的红外裂纹光源表现出良好的稳定性和均性,减少了背景噪声.
- 综合系统的测量精度达到1微米的根平均平方 (RMS).
- 该方法在研磨过程中的快速测量中被证明是有效的.
结论:
- 开发的红外裂纹光源和校准方法为表面质量评估提供了可靠,具有成本效益和高效的解决方案.
- 这项技术在光学车间具有重要的应用潜力,用于精确的表面计量学.
