三化物 (NF3) 的破坏性吸附 使用M-MOF-74与开放金属位点

Shao-Min Wang1, Qian Zhang2, Yi-Tao Li1

  • 1School of Chemical Engineering and Technology, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, China.

Chem & bio engineering
|February 20, 2025
PubMed
概括

金属有机框架 (MOF) 有效地吸附三化物 (NF3),这是一个强大的温室气体. Mg,Co和Ni-MOF-74具有高容量,为微电子中的危险NF3提供解决方案.