聚化涂层片实现了创纪录的高湿度屏障性能,使用高功率VUV辐射密度低于10秒
Luyang Song1, He Sun1, Yoshiyuki Suzuri1
1Innovation Center for Organic Electronics (INOEL), Yamagata University, Arcadia 1-808-48, Yonezawa, Yamagata, 992-0119, Japan.
Advanced science (Weinheim, Baden-Wurttemberg, Germany)
|February 22, 2025
概括
超高湿度屏障化薄膜是使用超聚和真空紫外线制成的. 更高的光强度优化了薄膜密度,并实现了灵活电子产品的创纪录的低水蒸气传输率.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 摄影化学的使用.
- 薄膜技术 薄膜技术
背景情况:
- 开发有效的防潮屏障对于保护敏感电子元件至关重要.
- 解决方案加工的薄膜提供了具有成本效益的制造潜力.
- 超聚酸盐 (PHPS) 是化 (SiNx) 薄膜的前体.
研究的目的:
- 在真空紫外线 (VUV) 光下研究PHPS薄膜的光化学反应和光密度.
- 确定VUV光强度对SiNx屏障性能的影响.
- 建立最佳条件,以实现超高湿度屏障性能.
主要方法:
- 用溶液处理的PHPS薄膜暴露在不同强度的VUV光下.
- 对光化学反应的分析,包括键裂解 (N─H,Si─H,Si─N).
- 测量水蒸气传递率 (WVTR) 和薄膜折射率.
主要成果:
- PHPS的光脱是高效的,并且独立于VUV强度.
- 光密度很大程度上取决于VUV强度,特别是在290mW以上的cm-2.2.
- 在309mW cm-2.2时实现了1.6 × 10−5 g m−2 day−1的创纪录的平均WVTR.
- 顶层的最佳折射率 (1.74-1.77) 确保WVTR在10−5g m−2天−1.7以内.
结论:
- 由UV光引起的光密度化是从PHPS中实现超高湿度屏障SiNx薄膜的关键.
- 高强度的VUV处理使得基于溶液的优质屏障膜的快速制造成为可能.
- 这些先进的屏障膜适用于灵活电子的苛刻应用,包括矿太阳能电池和有机光伏.


