基于在绝缘体上的非对称循环终结的马赫-泽恩德干扰仪的高灵敏度设计
1Institute of Microelectronics and Optoelectronics, Warsaw University of Technology, Koszykowa 75, 00-662 Warsaw, Poland.
Materials (Basel, Switzerland)
|February 26, 2025
概括
一个新型的非对称循环终结的在绝缘体上的马赫-泽恩德干扰仪 (a-LT-MZI) 提供了紧的折射率传感. 整合一个亚波长波导显著提高了对510nm/RIU的灵敏度.
科学领域:
- 光子学和光学工程 光子学和光学工程
- 纳米技术纳米技术
- 化学传感器 化学传感器
背景情况:
- 马赫-泽恩德干扰仪 (MZIs) 对于光学传感至关重要.
- 紧且高度灵敏的折射率 (RI) 传感器对微型设备有需求.
- 在绝缘体 (SOI) 平台为集成光学提供了优势.
研究的目的:
- 提出和设计一种新的非对称循环终结的马赫-泽恩德干扰仪 (a-LT-MZI),用于增强RI传感.
- 为了研究亚波长 (SWG) 波导对传感器性能的影响.
- 为了实现一个紧且高度灵敏的光学传感器.
主要方法:
- 在SOI平台上设计和模拟a-LT-MZI.
- 整合了萨格纳克循环来减少干扰仪的有效长度.
- 在不对称感应臂中集成一个亚波长 (SWG) 波导.
- 对光物质相互作用和干扰边缘移动的分析.
主要成果:
- a-LT-MZI设计实现了261nm/RIU的灵敏度,并具有24.35μm的斑块长度差异 (∆L).
- 加入SWG波导提高了对510nm/RIU的灵敏度.
- 萨格纳克循环集成导致了更紧的设备设计.
结论:
- 拟议的a-LT-MZI与SWG波导显示了RI传感性能的显著改善.
- 紧的设计适合集成到微型光学传感系统中.
- 这种新的配置为先进的光学传感应用提供了一个有前途的平台.


