在Y128°酸上产生不同表面声波束的比较研究,使用各种类型的数字间传感器
Marc Duquennoy1, Dame Fall1, Nada Ben Jafela1
1IEMN (UMR CNRS 8520), University Polytechnique Hauts-de-France, CNRS, University Lille, INSA HdF, F-59313 Valenciennes, France.
Sensors (Basel, Switzerland)
|February 26, 2025
概括
这项研究探讨了在酸上使用数字间传感器 (IDT) 来产生分离的表面声波 (SAW),用于非破坏性测试. 一个圆形的IDT设计实现了更高的SAW振幅,这对于微电子中的缺陷检测至关重要.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 声学 声学 在声学方面
- 非破坏性测试 不破坏性测试
背景情况:
- 表面声波 (SAW) 在非破坏性测试 (NDT) 中用于分析材料结构.
- 微电子元件制造涉及层对基板系统,需要精确的缺陷检测.
- 扩散声场成像依赖于对分散的声波进行结构分析.
研究的目的:
- 为了研究在Y128°酸上使用数字间传感器 (IDT) 生成分离的表面声波 (SAWs).
- 评估IDT配置以优化SAW分歧,振幅和接触面积在NDT应用中.
- 评估这些SAW生成方法在微电子制造中的层对基板系统检查中的适用性.
主要方法:
- 在Y128°酸基板上制造数字间传感器 (IDT).
- 测试三种不同的IDT配置:凸圆形,圆形和狭窄的光圈.
- 基于分歧角度,SAW发射幅度和声接触面积的IDT的表征.
- 通过将扩散声场与缺陷检测相关联,利用被动成像.
主要成果:
- 形圆形IDT配置显示了最高的SAW振幅,这对于扩散声场测量至关重要.
- 狭窄的传感器的光圈距离接近两个波长,在最大限度地减少声接触面积方面被证明是有效的.
- IDT设计显著影响SAW特性,影响NDT性能.
结论:
- 在Y128°酸上优化的IDT设计可以有效地产生NDT的分离SAW.
- 选择IDT配置平衡SAW振幅和接触面积,以满足特定的检查需求.
- 这种方法显示出微电子层对基板系统中缺陷检测的前景.
