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Shantong Yin1, Yangkun Zhang1, Rui Wang1

  • 1School of Mechanical Engineering and Automation, Harbin Institute of Technology, Shenzhen 518055, China.

PubMed
概括

本研究介绍了一种自我监督的对比学习框架,用于识别半导体晶圆缺陷模式. 该模型有效地分类和细分混合缺陷,即使有有限的标记数据,提高效率和质量.