通过合Al2O3纳米粒子来改善连接铜的热膨胀系数和机械性能:来自原子学模拟的见解

Tianyu Zhang1, Yunwen Wu2, Shenghong Ju1,2

  • 1China-UK Low Carbon College, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 201306, China. shenghong.ju@sjtu.edu.cn.

概括

将氧化 (Al2O3) 颗粒嵌入铜 (Cu) 中,可以通过 (TSV) 技术减少通过的热膨胀不匹配. 颗粒分布显著影响复合CTE,为改善热力学性能提供了洞察力.