微传输打印的短波红外线InP-on-silicon可调节激光器

科学领域:

• 光子学是指光子学的使用方法.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 半导体设备 半导体设备

背景情况:

• 光子技术正在迅速发展,但高效的光源仍然是一个挑战.
• 化 (InP) 是激光器的关键材料,但将其与集成是复杂的.

研究的目的:

• 为了展示在短波红外 (SWIR) 波长上运行的酸 (InP) - - 激光器.
• 使用微环共振器实现波长调制性和mW级输出功率.

主要方法:

• 使用微转印 (μTP) 技术进行InP-on-silicon集成.
• 在200毫米的在绝缘体 (SOI) 晶片上制造的激光腔,具有220纳米的装置层.
• 用于集成微环共振器的热调节,用于波长控制.

主要成果:

• 在SWIR频谱中实现了一个可调节的InP-on-silicon激光器.
• 证明波长可调性从1643nm到1707nm.
• 在室温下获得的mW级输出功率与100mA驱动电流.

结论:

• 微转印是制造InP-on-silicon激光器的一个有效方法.
• 开发的激光器适用于需要可调节的高功率源的SWIR应用.
• 这项工作通过实现芯片上激光集成来推进光子学.