在使用Ar+离子研磨的薄膜酸调制器中减轻直流漂移

Optics letters
|February 28, 2025
PubMed
概括

高能离子削使薄膜尼酸盐电光相变器 (EOPS) 在低频率下稳定. 这一进步克服了直流漂移,使光子集成电路能够稳定的方形波调制.