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Updated: May 6, 2026

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Characterization of Anisotropic Leaky Mode Modulators for Holovideo
Published on: March 19, 2016
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概括
高能离子削使薄膜尼酸盐电光相变器 (EOPS) 在低频率下稳定. 这一进步克服了直流漂移,使光子集成电路能够稳定的方形波调制.
科学领域:
- 光子学 是一个光子学.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
背景情况:
- 薄膜酸 (TFLN) 调制器由于其高性能,对于光子集成电路 (PIC) 来说至关重要.
- 对于TFLN设备,特别是电光相变器 (EOPS) 的一个重大挑战是低频率和长时间的DC漂移.
研究的目的:
- 为了减轻TFLN电光相变器 (EOPS) 在低频段的直流漂移效应.
- 通过使用一种新的预处理技术来证明一种稳定的TFLN调制器,具有增强的性能.
主要方法:
- 采用高能 (Ar+) 离子研磨作为EOPS的预处理步骤.
- 描述优化的EOPS和TFLN调制器的稳定性和调制性能.
主要成果:
- 经过优化后的EOPS在1赫兹时表现出稳定的正方形波调制,在DC电压调制下没有直流漂移1小时.
- 离子磨的EOPS提供了比热光学相变换器 (TOPS) 更高的调制率,同时保持了相似的低频稳定性.
- 使用这种技术制造的TFLN调制器实现了超过40 GHz的带宽,在4.5 V直流偏移下稳定输出30分钟.
结论:
- 高能Ar+离子研磨是一种有效的方法,可以减轻TFLN EOPS中的DC漂移.
- 这种技术提高了TFLN调制器的稳定性和性能,使它们更适合要求高的PIC应用.

