在微芯片侧墙上制造微电极,用于注射生物医疗器械

科学领域:

• 生物医学工程 生物医学工程
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 神经科学是一个神经科学.

背景情况:

• 植入式医疗器械 (IMD) 对于神经调制和大脑活动监测至关重要.
• 由于离芯片组件和复杂的组装,当前的IMD面临小型化挑战,影响大小和可靠性.
• 先进的CMOS技术为更小,无电池的IMD提供了潜力.

研究的目的:

• 为微型IMD引入一种新的集成技术.
• 为了减少整体体积和提高可植入神经设备的可靠性.
• 在封装CMOS芯片上演示精确的微电极制造.

主要方法:

• 在封装CMOS芯片的侧壁上制造微电极.
• 使用聚焦等离子离子束 (PFIB) 精确制造电极.
• 整合CMOS技术与用于微型化的新型电极放置.

主要成果:

• 通过侧墙电极集成实现了植入物尺寸的显著减少.
• 使用PFIB,证明了精确高效的微电极制造的可行性.
• 启用了更小,更可靠,更无电池的IMD的潜力.

结论:

• 这种新的集成技术成功地减少了IMD的大小.
• PFIB可为先进的IMD设计提供精确的微电极制造.
• 这种方法为下一代小型神经监测和调制设备铺平了道路.