对缺陷对高金属金属氧化物IGZO TFTs的影响的多尺度模拟

Chuanxue Sun1, Xiaoyu Dou1, Zhichao Du1

  • 1School of Information Science and Engineering (ISE), Shandong University, Qingdao 266237, China.

Micromachines
|March 6, 2025
PubMed
概括

在正偏向应力 (PBS) 下,印氧化薄膜晶体管 (IGZO TFT) 中的氧气空缺会导致负值电压变化和更低的移动性,影响设备可靠性. 了解这些缺陷是设计更稳定的IGZO TFTs的关键.