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Mathias Holz1, Martin Hofmann1, Christoph Weigel1

  • 1Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693, Ilmenau, Germany.

Small methods
|March 10, 2025
PubMed
概括

在扫描电子显微镜 (SEM) 中使用电子束诱导的缺陷生成实现了直接玻璃结构. 这种多功能技术使得纳米尺度精确的制造能够适用于各种应用.