(TiN)

Angus Huang1,2,3, Yee-Heng Teh1, Chin-Hsuan Chen1

  • 1Department of Physics, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan.

ACS materials Au
|March 17, 2025
PubMed
概括

像化 (TiN) 这样的高工作功能的金属对于半导体设备至关重要. 这项研究揭示了TiN.