对于MEMS麦克风高频压力比较校准的声音场校正的有效性

Fabio Saba1, María Campo-Valera2, Davide Paesante1

  • 1Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica (INRiM), 10135 Torino, Italy.

PubMed
概括

微电机系统 (MEMS) 麦克风的准确校准使用有限元法 (FEM) 模拟和实验性校正得到了改进. 这种先进的方法减少了MEMS麦克风的测量不确定性,特别是在高频率.