晶体1D协调聚合物抑制层导致纳米尺度模式上选择性沉积ZnO的垂直侧墙

Alexander Shearer1, Yukio Cho1,2, Miso Kim3

  • 1Department of Chemical Engineering, Stanford University, Stanford, California 94305, United States.

ACS nano
|March 21, 2025
PubMed
概括

乙醇 (BT) 有效地抑制铜表面的氧化 (ZnO) 原子层沉积 (ALD). BT形成可调节的多层,防止材料在没有图案的区域上生长,用于精确的纳米电子制造.