在14-20 GHz的声学布拉格反射平台上固体安装的酸

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 电气工程 电气工程
• 声学 声学 在声学方面

背景情况:

• 大量声波 (BAW) 对于无线电频率 (RF) 信号处理至关重要.
• 开发高性能BAW设备需要先进的材料和制造技术.
• 现有技术在频率范围和功率处理方面面临限制.

研究的目的:

• 报告第一个在14-20 GHz运行的低损耗声学固体安装共振器 (SMR) 和声学延迟线 (ADL).
• 为了研究 BAW 设备中薄膜化 (ScAlN) 的性能.
• 评估不同的介电声学布拉格反射器材料用于封闭BAWs.

主要方法:

• 在Si晶片上的介电布拉格反射器 (Ta2O5/SiO2或Nb2O5/SiO2) 上使用ScAlN薄膜制造SMR和ADL.
• 使用高分辨率X射线衍射 (HRXRD) 和X射线反射率 (XRR) 的材料参数提取.
• 基于BAW封闭和设备性能的实验和模拟分析.

主要成果:

• 成功地将纵向BAWs限制在14-20 GHz范围内.
• ADLs显示高传播的Q因子 (>478对于Ta2O5/SiO2,>171对于Nb2O5/SiO2).
• 在18.6 GHz时,SMR表现出类似的性能,合系数 (k^2) 为2.0%和2.4%,Q系数 (Qs,Qp) 约为100-150左右.

结论:

• 基于ScAlN的BAW设备为高频信号处理提供了一个有前途的平台.
• 开发的SMR和ADL在14-20 GHz范围内实现了低损耗和高性能.
• 这些发现为未来信号处理元件的增强功率处理铺平了道路.