在厚度和质量控制的制造过程中,光向的冷水化片被制造成光向的化片
Daan B Boltje1, Radim Skoupý2, Clémence Taisne3
1Department of Imaging Physics, Delft University of Technology, Delft, the Netherlands; Delmic B.V., Delft, the Netherlands.
Cell reports methods
|March 25, 2025
概括
现在可以在低温聚焦离子束 (FIB) 研磨过程中进行精确的控制,用于冷电子显微镜样本制备. 新的方法提供了实时反的叶片厚度和质量,提高了高分辨率结构的确定.
科学领域:
- 结构生物学是结构生物学.
- 低温电子显微镜样品准备方法 样品准备方法
- 先进的显微镜技术 显微镜技术
背景情况:
- 低温聚焦离子束 (FIB) 研磨对于从冷水化细胞中制备薄膜至关重要,用于高分辨率的结构确定.
- 为了达到最佳分辨率,需要在100-200纳米之间厚度的片.
- 目前的FIB削缺乏对片厚度,质量和目标包含的定量,实时反.
研究的目的:
- 开发精确的策略,在低温FIB削过程中进行实时控制.
- 将光显微镜与FIB-SEM集成在一起,以提高片的制造.
- 提高冷电子显微镜样品的质量和可靠性.
主要方法:
- 合照光显微镜 (光显微镜和反射光显微镜) 集成到FIB-SEM.
- 结合四维 (4D) STEM与光显微镜进行厚度测定.
- 使用反射光显微镜选冰污染和监测Pt涂层.
- 利用薄膜干扰进行细粒度厚度均反.
主要成果:
- 演示了三种策略,用于精确的,在拉梅拉制造过程中实时控制.
- 能够精确监测叶片的厚度,质量和目标的包含.
- 开发了一个光向的,质量控制的工作流程,用于冷水合的片.
- 与能量过传输电子显微镜 (EFTEM) 和电子冷图学取得了很好的一致性.
结论:
- 提出的策略显著提高了对冷FIB削的控制.
- 现场反机制提高了拉梅拉制备的效率和成功率.
- 这种工作流程通过确保最佳样本质量,促进了高分辨率结构的确定.


