薄膜在现场面板上拉伸试验的方法

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 机械工程 机械工程
• 微型制造业的微型制造

背景情况:

• 描述薄膜的机械性能对于微电机系统 (MEMS) 设备的可靠性至关重要.
• 现有的方法通常需要破坏性测试或现场分析,限制实时过程监控.

研究的目的:

• 为薄膜材料开发和验证一种新的现场薄膜抗拉强度测试方法.
• 为了在MEMS制造过程中直接实现精确的机械性能测量.

主要方法:

• 在制造过程中将薄膜样本与散装测试结构集成.
• 使用探头和光学显微镜进行现场抗拉强度测量.
• 在不同尺寸的 (Al) 薄膜上进行测试.

主要成果:

• 实现了0.05 MPa的抗拉强度测量分辨率.
• 证明了该方法能够评估加工对薄膜机械性能的影响.
• 在晶圆上成功地在现场测试了Al膜.

结论:

• 拟议的 in situ 晶圆上拉伸试验方法对于描述薄膜机械性能是有效的.
• 这种技术在大量生产环境中具有实时过程质量监测的巨大潜力.