MEMS Pirani

Yuzhe Lin1, Zichao Zhang1, Jifang Tao1,2

  • 1School of Information Science and Engineering, Shandong University, Qingdao 266237, China.

Micromachines
|March 27, 2025
PubMed
概括

这项研究介绍了一种强大的微电机系统 (MEMS) 皮拉尼真空计,使用多孔平台. 新的设计提供了高可靠性和稳定性,使其适用于苛刻的应用.