DOFMoiré

Kairui Zhang1,2,3,4, Haifeng Sun1,2,3, Dajie Yu1,2,3,4

  • 1National Key Laboratory of Optical Field Manipulation Science and Technology, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China.

Micromachines
|March 27, 2025
PubMed
概括

这项研究通过使用多波长照明来提高焦点深度 (DOF) 来增强Moiré边缘对齐用于光刻. 这种新的方法在很大的对齐范围内保持纳米级准确度,克服了间隙灵敏度.