在碳纳米管场效应晶体管中通过金属子纳米集群吸收局部电荷兴奋剂
Weili Li1, Yifan Liu2, Xiaoxiao Guan3
1Institute of Fundamental and Frontier Sciences, Key Laboratory for Quantum Physics and Photonic Quantum Information of Ministry of Education, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China.
Nano letters
|March 31, 2025
概括
金属子纳米集群有效地使半导体碳纳米管 (CNT) 成为先进的场效应晶体管 (FET). (Pd) 能够实现p型兴奋剂,而 (Sc) 和 (Y) 可以促进n型兴奋剂,从而提高设备的性能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 半导体碳纳米管 (CNTs) 对后穆尔时代的高性能场效晶体管 (FETs) 是有前途的.
- 在CNTFET中,未加的电阻限制了最大电流和设备扩展.
研究的目的:
- 调查使用金属子纳米集群在CNT上的充电兴奋剂策略.
- 通过局部兴奋剂来提高短通道CNTFET的性能.
主要方法:
- 密度函数理论 (DFT) 模拟.密度函数理论 (DFT) 模拟.
- 使用金属子纳米集群的CNTFETs的实验合成和电特性.
- 对金属子纳米集群吸收到CNT的系统设计.
主要成果:
- (Pd) 亚纳米集群对于p型CNT的兴奋剂是有效的.
- 扫 (Sc) 和 (Y) 亚纳米集群对n型兴奋剂有效.
- 在200纳米的通道长度上,Pd-doped CNTFET 实现了平均和排水电流 (Imax) 1410 μA/μm,峰值传导率 (gm) 597 μS/μm.
结论:
- 金属子纳米集群为CNTFET中受极性控制的局部化兴奋剂提供了一种可行的方法.
- 这种方法对于推进短通道CNTFET和其他低维半导体设备至关重要.


