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Updated: Aug 5, 2026
07:51
Fabrication of Silica Ultra High Quality Factor Microresonators
Published on: July 2, 2012
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集成的高Q级联Fabry-Perot共振器基于酸尼奥巴特萨格纳克循环反射器
Optics letters
|April 1, 2025
概括
研究人员使用多Sagnac循环反射器在绝缘体 (LNOI) 上的酸上创建了一个高Q级联的Fabry-Perot (FP) 反应器. 这种集成的光子装置实现了1.16 × 10^6的创纪录的Q因子,这是五倍的增强.
科学领域:
- 光子学是指光子学的使用方法.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光学工程是指光学工程.
背景情况:
- 绝缘体上的酸 (LNOI) 是集成光子学的一个关键平台.
- 法布里-佩罗 (FP) 共振器是关键的光学元件,但实现高Q系仍然是一个挑战.
- 萨格纳克循环反射器 (SLR) 提供了一种提高共振器性能的方法.
研究的目的:
- 在LNOI上演示一个集成的高Q级联FP振荡器.
- 通过使用多Sagnac循环反射器 (多SLR) 调查性能提升.
- 与现有的LNOI共振器相比,实现Q因子的显著改善.
主要方法:
- 使用秒激光光刻光学辅助化学机械抛光 (CMP) 制造级联FP振荡器.
- 在FP共振器结构中集成多Sagnac循环反射器 (多SLR).
- 对共振器的光学性能进行表征,包括Q因子测量.
主要成果:
- 在LNOI上成功制造了一个集成的级联FP共振器.
- 与只有两个单反相机相比,使用多个单反相机实现的共振器表现出显著的Q因子增强.
- 实现了1.16 × 10^6的负载Q系数,比LNOI的最先进状态提高了五倍.
结论:
- 拟议的使用多个单反相机的集成高Q级联FP振器是LNOI光子学的一个有希望的进步.
- 多反光镜设计有效地提高了LNOI上的FP共振器的Q因子.
- 这项工作为LNOI平台上的Q因子设定了新的基准,使集成光学领域的新应用成为可能.
