用选择性激光接制造包装玻璃微热器的一步制造
Dae-Seob Song1,2, Geun-Young Kim3, Jung-Woo Park1
1Department of Mechanical Engineering, Seoul National University, Seoul 08826, Republic of Korea.
ACS applied materials & interfaces
|April 9, 2025
概括
这项研究介绍了一种新的选择性激光接技术,使用银薄膜同时进行微型图案和微型设备的包装. 这种方法可以创建具有增强功能的集成,可重复使用的微电子设备.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 微型制造业的微型制造
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 微型设备制造往往忽视了集成包装,导致复杂的组装过程.
- 现有的微型图案技术需要单独的包装步骤,增加成本和复杂性.
研究的目的:
- 开发一个单步工艺,同时进行微型图案和微型设备的包装.
- 引入一种选择性激光接方法,利用银薄膜进行增强的微设备制造.
主要方法:
- 一种新的选择性激光接工艺,使用银 (Ag) 薄膜作为激光吸收器和功能层.
- 数学建模和传热模拟以优化Ag薄膜厚度和激光能量传输.
- 使用玻璃基板之间的选择性激光接制造Joule加热微型加热器及其集成.
主要成果:
- 银薄膜作为激光吸收器,使选择性接和创建绝缘区域,同时保留导电电极在未接的区域.
- 在玻璃基板之间成功制造和密封包装一个微型加热器装置.
- 证明可重复使用的细胞培养测试仪在多次使用后具有一致的加热性能,证实了设备的可行性.
结论:
- 拟议的选择性激光接工艺为制造包装微设备提供了一种简化方法.
- 这种技术结合了微型图案和包装,为先进的微电子设备开发铺平了道路.
- 开发的方法显示了对需要小型化和强大的微型设备的多种应用的巨大潜力.
