Yejin Han1, Jihwan Jeong1, Hyein Cho1

  • 1Department of Chemical Engineering, Kangwon National University, Chuncheon, 24341, Republic of Korea.

概括

通过金属辅助化学蚀刻 (MaCE) 控制纳米结构的制造是具有挑战性的,因为同otropic 蚀刻. 这项研究表明,催化剂形态决定了蚀刻方向,热处理可实现精确的垂直蚀刻.