可集成的全固态薄膜微电池
Bingyuan Ke1,2,3, Xinghui Wang1,2,3
1College of Physics and Information Engineering, Institute of Micro-Nano Devices and Solar Cells, Fuzhou University, Fuzhou 350108, China.
概括
研究人员开发了低温,基于的全固态薄膜微电池,用于芯片内集成. 这些先进的微型电池提供了高速率的性能,特殊的循环寿命和高温耐受性,克服了整合挑战.
科学领域:
- 材料科学与工程 材料科学与工程
- 电化学 电化学 电化学
- 微电子学微电子学
背景情况:
- 芯片上的微电池系统的大规模集成受到电化学和微电子制造工艺之间的不兼容性所限制.
- 现有的微电池技术在芯片上应用的可制造性和性能方面面临挑战.
研究的目的:
- 开发一种基于的全固态薄膜微电池电池,兼容低温,芯片内集成.
- 解决阻碍微型电池系统大规模集成的技术障碍.
主要方法:
- 基于的全固态薄膜微电池细胞的开发,使用低温制造.
- 在接口上实施应力管理技术,包括断裂阻力和应变调节.
- 关于在芯片上的微型电池包的集体微型制造协议的建议.
主要成果:
- 实现了高速率性能 (34.4 mA cm−2) 和快速充放电特性 (20 mA cm−2) 实现了10万个循环.
- 在零堆压力下经过证明的高温耐受性 (150°C).
- 揭示了利用,应变,压力和接口行为之间的内在关系.
结论:
- 开发的微电池技术有效地克服了在芯片上集成的关键挑战.
- 拟议的微型制造协议允许创建连接式连接的微型电池组,用于实际应用.
- 这项工作为设计强大的芯片微型电池系统提供了可行的途径,用于大规模部署.


