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Aurélien Besnard1, Hamidreza Gerami1, Marina Raschetti2

  • 1Université Marie et Louis Pasteur, SUPMICROTECH, CNRS, Institut FEMTO-ST, F-25000 Besançon, France.

概括

凝视角度沉积 (GLAD) 需要一个新的原子流量描述用于喷射. 运输模拟确定了所得到的冲击角度,这是跨沉积方法倾斜纳米结构控制的通用标准.