温度补偿表面声波共振器内平面衍射对SiO₂/131°YX-LiNbO₃结构的影响

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 电气工程 电气工程
• 声学 声学 在声学上.

背景情况:

• 温度补偿 (TC) 表面声波 (SAW) 共振器对于稳定的频率控制至关重要.
• 了解损失机制对于优化共振器性能和质量因子 (Q) 至关重要.

研究的目的:

• 为了研究SAW射在TC SAW共振器中的Bode Q因子对平面SAW射的影响.
• 将实验结果与理论模型进行比较,特别是全三维 (3D) 有限元素方法 (FEM).

主要方法:

• 利用完整的3D FEM模拟来模拟TC SAW共振器的特性.
• 将模拟结果与实验测量结果进行比较,考虑欧姆电阻.
• 研究了IDT手指对 (N_I) 和光圈长度 (W) 对Bode Q.的影响.

主要成果:

• 完整的3D FEM模拟与Bode Q的实验数据密切匹配,即使不包括额外的损失.
• 在平面SAW衍射被确定为TC SAW设备损失的主要原因.
• 与I.H.P.相比,TC-SAW共振器由于在平面上的衍射而表现出更严重的Bode Q降解. 看到共振器. 看到共振器.

结论:

• 在平面 SAW 衍射是限制 TC SAW 共振器中 Bode Q 的重要因素.
• 由于其表面声波缓慢形状,TC-SAW共振器对频率 (f),光圈长度 (W) 和手指对 (N_I) 等参数的灵敏度更高.
• 全3D FEM是预测和理解这些衍射效应的可靠工具.