使 lithography .

Juncal Alonso-Cabrera1,2, Enrique Azuaje-Hualde1, Alexia Ramos-Gutiérrez1,2

  • 1Microfluidics Cluster UPV/EHU, BIOMICs Microfluidics Group, Lascaray Research Center, University of the Basque Country UPV/EHU, 01006 Vitoria-Gasteiz, Spain.

概括

用真空驱动的光刻法使能制造出高分辨率的离子凝微结构. 这种新的方法为先进的传感器和设备创建了复杂的设计,克服了材料处理的先前限制.

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