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Updated: Aug 3, 2026
07:51
Fabrication of Silica Ultra High Quality Factor Microresonators
Published on: July 2, 2012
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一个微环共振器用于折射率二氧化碳气体传感器
Jiaqi Wang1, Hui Zhang1, Si Chen2,3
1College of Physics and Optoelectronic Engineering, State Key Laboratory of Radio Frequency Heterogeneous Integration, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China.
ACS sensors
|May 6, 2025
概括
这项研究介绍了一种用于二氧化碳传感的微环共振器 (MRR). 它通过利用不同的模式灵敏度实现温度补偿,从而实现精确的气体检测.
科学领域:
- 光子学 是一个光子学.
- 化学传感器 化学传感器
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 微环共振器 (MRR) 为芯片上的光学传感提供了优势.
- 折射率传感器由于热光学效应而面临温度交叉敏感性的挑战.
- 精确的气体传感需要缓解温度诱导的信号变化.
研究的目的:
- 开发一种MRR,用于二氧化碳 (CO2) 传感,并集成温度补偿.
- 设计一个对气体度和温度有不同的敏感度的MRR.
- 为了证明芯片上的光学气体传感的可行性,并提高精度.
主要方法:
- 用聚甲比古安化作为传感层制造一个功能化的MRR.
- 使用TE0和TE1模式来实现对气体和温度的独立反应.
- 气体灵敏度和温度交叉灵敏度的表征.
主要成果:
- 对于TE0和TE1模式,已经证明了不同的温度和气体灵敏度.
- 在700ppm范围内,对于CO2的气体灵敏度达到-0.90pm/ppm.
- 报告的反应和恢复时间分别为约3.5分钟和1.5分钟.
- 成功地弥补了温度变化.
结论:
- 工程MRR有效地通过温度补偿来检测二氧化碳.
- 差分模式灵敏度方法可以实现精确的光学气体传感.
- 这项工作推动了强大的芯片上气体传感平台的开发.
