自然范德瓦尔斯道化镜头用于非破坏性纳米电子电路成像和检查

Qingdong Ou1,2, Shuwen Xue3, Weiliang Ma4

  • 1Macao Institute of Materials Science and Engineering (MIMSE), Faculty of Innovation Engineering, Macau University of Science and Technology, Taipa, Macao, 999078, China.

概括

一种新的光学检查方法在半导体制造中使用天然晶体镜头进行超高分辨率成像. 这种技术克服了传统方法的局限性,使得表面和埋藏的纳米结构的可视化.