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Getnet Kacha Deyu1, Marc Wenskat1,2, Isabel González Díaz-Palacio1,3

  • 1Institute of Experimental Physics, Universität Hamburg, Luruper Chaussee 149, D-22761, Hamburg, Germany. getnet.kacha.deyu@desy.de.

Materials horizons
|May 9, 2025
PubMed
概括

原子层沉积 (ALD) 允许精确制造超导薄膜,这对于先进的电子和量子技术至关重要. 这篇综述强调了ALD的重点.