通过多层结构通过金属氧化物金属设备的原子层沉积辅助接口工程,以改善泄漏特性

Zhao-Cheng Chen1, Hao-Jung Liu2, Yu-Chi Chang2

  • 1Institute of Microelectronics, Department of Electrical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan 70101, Taiwan.

ACS omega
|May 12, 2025
PubMed
概括

研究人员开发了多层金属/绝缘体/金属设备,大大减少了非状态电流. 调节原子层沉积条件控制基组形成,影响先进电子设备的电荷转移.