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Yan Wang1,2, Peng Chen1,2, Junning Zhang1

  • 1School of Optical and Electronic Information, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, 430074, China.

概括

使用PDMS软互连的新后处理策略,在压电微机超声波传感器 (PMUT) 中同步了悬臂束. 这大大减少了环下尾巴,提高了脉冲回声测距应用的PMUT性能.