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Navid Asmari1, Lukas Neuner2, Richard Weiss2
1Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Lausanne, 1015, Switzerland.
一个新的高阶线性控制器通过改进垂直跟踪来提高原子力显微镜 (AFM) 扫描速度. 这个控制器取消了压力执行器共振,使得更快的成像样本的地形.
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