扩大Mo (III) 基材料蒸汽阶段生长的Mo (III) 前体分子的应用范围:Mo (III) 瓜尼丁酸

科学领域:

• 无机化学 无机化学
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 协调化学 协调化学

背景情况:

• 对于同质单核 ((III) 协调复合物的知识有限.
• 三基酸金属III复合物是无机化学的一个发展领域.

研究的目的:

• 为了合成和表征一种新型的tris{(guanidinate) molybdenum{(III) 复合物.
• 研究这个复合物的潜力,作为薄膜沉积的前体.

主要方法:

• 三 (N,N'-di-isopropyl-2-dimethylamido-guanidinate) (III),莫 (iPr-GND) 的合成和表征3. 这两种化合物中的一种是.
• 热重力测量分析 (TGA) 用于评估波动性.
• 气溶辅助化学蒸汽沉积 (CVD) 用于薄膜生长.

主要成果:

• 成功合成和对Mo (iPr-GND) 的表征3.
• 通过TGA证明了Mo(iPr-GND) 3的波动性.
• 使用Mo(iPr-GND) 3作为气溶辅助CVD中的单源前体,生产了MoC_xN_y薄膜.

结论:

• 摩 (iPr-GND) 3扩展已知的三 (guanidinate) M (III) 复合体,包括.
• 综合体的挥发性表明化学蒸汽沉积 (CVD) 和原子层沉积 (ALD) 的潜力.
• Mo ((iPr-GND) 3 是一种可行的单一来源前体,用于沉积聚碳化物 (MoC_xN_y) 薄膜.