基于细分模型的电磁微镜系统的内部模型控制方案

Ruili Dong1, Qingyuan Tan2, Yonghong Tan3

  • 1College of Information Science and Technology, Donghua University, Shanghai 201620, China.

ISA transactions
|June 11, 2025
PubMed
概括

一个新的细分内部模型控制 (SIMC) 策略有效地通过使用模型组合来管理电磁微镜系统 (EMMS). 这种方法解决了复杂的非线性动态,提高了偏斜角度控制的准确性.