高速横扫描白光干扰仪,用于具有垂直离轴补偿的蚀刻阵列

科学领域:

• 光学计量学是指光学计量学.
• 表面表征表征表征的表征表征.
• 纳米技术纳米技术

背景情况:

• 对微纳米结构进行快速检查的需求需要先进的计量技术.
• 传统的垂直扫描白光干扰仪 (WLI) 提供了高精度,但速度很慢.
• 横扫描白光干扰仪 (LSWLI) 提供更快的扫描,但由于翻译阶段的不完美和振动,在保持准确性方面面临挑战.

研究的目的:

• 开发一种高速的LSWLI系统,能够为大型微纳米结构提供准确的计量技术.
• 通过实施垂直离轴补偿来解决传统LSWLI的精度限制.
• 为了实现快速而精确的表面地形恢复,为蚀刻的数组.

主要方法:

• 实施高速LSWLI系统,具有垂直离轴补偿.
• 使用平面基板在高速扫描过程中提取样品的离轴运动.
• 开发白光相位移干扰计 (WLPSI) 算法,用于非均采样干扰信号,以恢复表面地形.

主要成果:

• 开发的LSWLI系统实现了1mm/s的扫描速度,轴外运动范围为600nm.
• 实验结果表明,高度测量的准确性与传统的WLI.
• 该系统成功地恢复了蚀刻数组的表面地形.

结论:

• 拟议的具有垂直离轴补偿的高速LSWLI有效地克服了传统LSWLI的精度限制.
• 这种技术为大规模微纳米结构的快速准确计量提供了可行的解决方案.
• 通过WLPSI算法,即使采用不均的采样,也可以实现可靠的表面地形恢复.