概括
等离子处理通过减少泄漏电流,显著提高了激光二极管的性能. 这种新的被动化技术降低了值电流,并提高了基于GaN的蓝色激光二极管的斜率效率.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光电学是指光电子产品.
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 激光二极管是关键的光电子设备.
- 斜坡泄漏电流会影响激光二极管的效率.
- 现有的被动化方法有其局限性.
研究的目的:
- 研究 (H) 血治疗用于激光二极管脊被动化的应用.
- 分析H等离子体对山脊泄漏电流和激光二极管性能指标的影响.
- 使用这种新方法制造和表征基于化 (GaN) 的蓝色激光二极管.
主要方法:
- 在激光二极管脊上应用H血处理,使用牛津血实验室系统100 ICP 180.0.
- 通过H等离子体被动化形成一个中性Mg-H复合层.
- 使用Cascade 150+B1505A探测站,光功率计和光谱仪进行性能评估.
主要成果:
- 成功制造出基于GaN的蓝色激光二极管,其低值电流为0.42A,高斜率效率为1.96W/A.
- 与氧化处理的激光相比,H等离子被动降低了0.13A的门电流,提高了0.56W/A的斜率效率.
- 由于Mg-H复合层的形成,证明有效地减少了山脊泄漏电流.
结论:
- 等离子处理是激光二极管脊的高效被动化技术.
- 这种方法显著提高了激光二极管的性能,为传统的被动化提供了潜在的替代方案.
- 改进的激光二极管特性为各种领域的更广泛应用开辟了道路.


