基于对EUVL客观镜头的表面高度和斜率配置的融合计数的超精确制造技术
Optics express
|June 14, 2025
概括
这项研究引入了一种用于超精密光学制造的新型聚变计算模型. 它增强了对表面高度和斜率精度的控制,改善了极端紫外线光刻镜头生产中的融合.
科学领域:
- 光学制造业 制造业 光学制造业
- 精密工程 精密工程是指精密的工程.
- 表面计量学 表面计量学
背景情况:
- 极端紫外线光刻 (EUVL) 需要光学与严格的表面高度和斜率的准确性,以获得最佳的成像.
- 目前的超精密加工缺乏明确的二维表面斜率控制,阻碍了先进的光学制造.
- 现有的方法难以同时解决复杂光学中的表面高度和斜率错误.
研究的目的:
- 开发一款用于超精密光学制造的先进图形模型.
- 为了同时控制表面高度和斜率的准确性.
- 改进复杂光学的制造,用于像EUVL这样的应用.
主要方法:
- 为基于斜率的2D计算 (SF) 模型提出了一种部分衍生品交换解 (PDED) 方法,以解决矢量去除合.
- 开发了一种创新的融合计算 (FF) 模型,用于对表面高度和斜率精度的双重监测.
- 进行模拟和制造实验,以比较FF,SF和基于高度的计算 (HF) 模型.
主要成果:
- 在模拟中,FF模型在SF和HF模型中表现出优越的性能.
- 制造实验显示,与HF相比,FF提高了斜率误差的RMS收率超过20%,高度误差近10%,而HF则提高了RMS收率.
- 在光学加工方面取得了显著的趋同,验证了FF模型的有效性.
结论:
- 融合计算模型为制造复杂光学提供了一种新的,超精确和稳定的方法.
- 它成功地解决了先进光学制造中表面高度和斜率精度的双重要求.
- 这项研究推动了超精密加工技术的发展,用于像EUVL.L.这样的苛刻应用.
