使用光谱形状的超连续源来无接触测量工艺中的晶片的温度
Optics express
|June 14, 2025
概括
这项研究引入了一种定制的超连续激光器,用于精确,高速的非接触式晶圆温度测量,用于微型制造. 这种新的方法在广泛的温度范围内达到~1°C的准确度,提高了系统效率.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光学工程是指光学工程.
- 半导体制造业 半导体制造业
背景情况:
- 无接触温度测量对于先进的微制造至关重要.
- 使用多个激光器的现有方法是复杂和缓慢的.
- 的近红外吸收因温度而变化,使光学测量成为可能.
研究的目的:
- 开发一个简化和更快的非接触式晶圆温度测量系统.
- 为了提高精度,特别是在较低的温度下,与平面超连续源相比.
- 为了提高性能,利用定制的基于电信光纤的超级连续源.
主要方法:
- 使用一个紧的,经济高效的基于电信光纤的超连续源.
- 调整了超级连续频谱,以指数级的滚动向更长的波长.
- 优化了光谱形状,以提高温度测量准确度.
主要成果:
- 从室温到600°C达到~1°C的精度,比平面超连续源提高了6倍.
- 在较低温度范围内提高测量准确度.
- 通过消除光学开关,增加了采集速度到~66ms.
结论:
- 一个定制的超连续源显著提高了无接触晶圆温度测量的准确性和速度.
- 拟议的方法为微型制造提供了一个简化,具有成本效益的解决方案.
- 该系统可扩展,用于多点温度监测.
