概括
一种新的三层网格 (TLGs) 干扰方法提高了表面编码器的准确性,用于广泛的两轴位移测量. 这种设计提高了对环境干扰的稳定性,使得飞机内和飞机外的运动跟踪能够精确.
科学领域:
- 光学工程是指光学工程.
- 计量学 计量学 计量学
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 传统的表面编码器在测量外平面位移方面存在局限性,特别是在环境干扰方面.
- 迈克尔森基于干扰的方法在表面编码器中与Z轴精度作斗争.
研究的目的:
- 提出一个近常见的光学路径双轴表面编码器设计.
- 为了提高位移测量的稳定性和准确性,特别是对于平面外 (Z轴) 运动.
主要方法:
- 采用一种新的三层网格 (TLGs) 干扰方法.
- 使用近乎常见的光学路径设计,以最大限度地减少对环境的影响.
- 在多个格层中实施光束分裂和衍射策略.
主要成果:
- 该TLGs干扰方法可以同时在平面内和平面外进行广泛的移位测量.
- 几乎常见的光学路径设计显著提高了对环境干扰的稳定性.
- 一个原型证明了提议的TLG干扰方法的有效性,用于准确的双轴位移跟踪.
结论:
- 提议的TLG干扰方法在表面编码器技术中提供了显著的进步.
- 这种设计为广泛的两轴位移测量提供了强大而准确的解决方案.
- 该方法克服了传统编码器在平面外测量的局限性.
