在光子平台上的单立体集成的合多晶Al2O3波导放大器
Optics express
|June 14, 2025
概括
我们将氧化波导放大器与氧化波导放大器集成到化平台上,用于芯片上的光学放大. 这一进步使得高性能光子集成电路具有显著的增益和宽带宽.
科学领域:
- 光子学是指光子学的使用方法.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 集成光学 集成光学 集成光学
背景情况:
- 光子集成电路 (PIC) 需要高效的芯片上放大.
- 整合主动增益元素与被动平台仍然是一个挑战.
研究的目的:
- 在一个被动的Si3N4 TriPleX平台上演示聚晶Al2O3:Er3+波导放大器的单体集成.
- 为了使先进的PIC能够实现高性能芯片上放大.
主要方法:
- 使用反应磁铁子共喷射,沉积的多晶Al2O3:Er3+.
- 利用芯片上的波长分割多重复合器 (WDM) 进行和信号功率管理.
- 在1480nm时,双向送30厘米波导放大器.
主要成果:
- 实现了小信号净增益超过16dB.
- 显示了低噪声的数字约为3dB.
- 获得了80nm的宽增益带宽.
结论:
- 集成放大器与光子平台兼容.
- 这项工作代表了向完全集成的稀土离子化放大器迈出的重要一步.
- 可以实现下一代主动-被动PIC.


