概括
本研究介绍了一种远程中心摄像系统,用于精确测量微零件的几何尺寸. 该方法增强了校准和子像素边缘检测,实现了制造检查的高精度.
科学领域:
- 计量学 计量学 计量学
- 光学工程是指光学工程.
- 制造业 制造技术 制造技术
背景情况:
- 精密测量对于半导体和电子等行业至关重要.
- 传统的基于视觉的测量方法使用普通镜头遭受扭曲和放大变化,限制精度.
- 远距离摄像机通过最小化这些光学偏差提供了一个解决方案.
研究的目的:
- 建议使用远程中心摄像头对微型零件进行高精度测量方法.
- 开发精确的远程中心摄像头校准和子像素边缘检测技术.
- 通过实验评估来验证系统的性能.
主要方法:
- 开发了一种高精度,单图像远程中心相机校准方法.
- 实施了改进的Zernike时刻子像素边缘检测算法,灵感来自Steger算法.
- 建立了一个测量系统来测试摄像头校准,系统校准和实际性能.
主要成果:
- 远心镜头的相对放大误差很低,为0.7%.
- 该系统在2.1毫米的测量范围内实现了0.84μm的最大平均绝对误差.
- 实验验证证证实了该方法的高精度和稳定性.
结论:
- 拟议的远程中心摄像头测量方法显著提高了微型零件几何维度检查的准确性.
- 改进的校准和边缘检测技术为制造精度评估提供了可靠的技术支持.
- 这种方法解决了传统光学测量系统在高精度应用中的局限性.
